Der Spezial-Abfunktisch eignet sich für unterschiedliche Anwendungen. Kleinteile können mit Hilfe von speziellen Blenden ab einer Mindestgröße von 4mm Durchmesser analysiert werden. Eine besonders robuste Keramikblende wird für die Analyse von Proben mit kleinen Querschnitten eingesetzt.

Der Spezial-Kleinteileadapter wird z.B. für die Analyse von Kugeln eingesetzt. Mit Hilfe eines eigenen Vakuumsystems zur Probenfixierung können selbst Kleinteile verlässlich geprüft werden.